0755-23730066
深圳市泰道精密机电有限公司
ShenZhen Tech-D Precision Automation Co.Ltd
新闻中心 |
雅科贝思力矩电机:半导体高端装备核心驱动部件
时间：2026-08-15 点击次数：1次 来源：
随着半导体行业迅猛发展，精密制造设备对驱动部件的定位精度、运行稳定性、动态响应速度及环境适应性提出了极致严苛的要求。雅科贝思力矩电机作为高性能直驱旋转电机能完美适配半导体多场景精密加工与检测工况，是当前半导体高端装备的优选核心驱动部件。 雅科贝思直驱旋转电机，电机采用直驱无传动结构，依托高精度编码器与误差补偿技术定位精度可达≤2”，重复定位精度可达±0.5”;转速范围宽、动态响应快，适配高速作业与频繁启停场景。同时，产品磨损小、可靠性高、使用寿命长久，维护便捷，运维成本可控，充分匹配半导体严苛制造要求，可应用于半导体五大核心工艺设备，覆盖生产、加工、检测、传输全环节。
20工位分选机，18°行程，可以在22ms内完成到位和整定。且该系列电机轴向和径向跳动精度较高，可满足5um以内的跳动精度，集成了高精度光栅编码器，重复精度可至t2arcsec， 有效抑制高速旋转产生的振动，大幅提升芯片分选的效率与良品率。 砂轮划片机，力矩电机支持双轴高速运动，提升切割效率，定位性能优异，适配半导体晶圆、光电器件精密精细切割;设备标准防护等级IP44(可按需定制IP65)，重复定位精度±1.5arcsec，端跳2um。
晶圆研磨机，力矩电机运行抖动微弱、速度波动极低，能避免抛光过程中产生周期性划痕，保障晶圆表面粗糙度达标，满足高端晶圆3D堆叠、高密度封装的制程要求。
晶圆膜厚检测工艺(椭偏仪)，力矩电机角度控制精准、端面跳动极小，速度波动千分之一以下，保障光学检测数据精准稳定，实现半导体薄膜的高精度无损检测。
晶圆搬运工艺(真空机械手)，力矩电机可通过专业涂层、密封防护、磁体改性等定制化优化设计，有效解决半导体真空、含氢腐蚀环境下的永磁体氢脆损坏问题，适配下一代半导体制造的极端工艺要求。 |
华南：深圳市龙华区大浪华宁路中安研发园B栋706 华东：苏州市吴中区木渎镇七子路29号AI科创园4幢5楼
0755-23730066
0755-23730099
sales@techdauto.com
